NPXY100Z15-163
NPXY100Z15-163 Nanopositioning Piezo Stage
NPXY100Z15-163是一款带高速Z轴的三维纳米扫描台，扫描范围100μm×100μm×15μm，亚纳米分辨率。适用于光学测量、纳米加工、AFM、光存储/磁存储、材料科学等应用。
应用
- 光学测量
- 纳米加工
- AFM
- 光存储/磁存储
- 材料科学
主要参数
| 型号 | 3715163 |
| 尺寸(mm) | 100 x 100 x 28 |
| 最大负载(kg) | 1 |
| 最大推力(N) | 100 / 10 |
| 自重(g) | 540 |
| 运动轴 | X|Y|Z |
| 闭环行程(µm) | 100|100|15 |
| 开环行程(µm) | 160|160|25 |
| 噪声值(nm) | 0.3|0.3|0.1 |
| 3715163 | |
| 刚度（N/µm） | 1.2 | 1.2| 8.0 |
| 共振频率（Hz） | 500 | 500 | 3000 |
| 稳态时间（ms） | 15 | 15 | 2 |
| 线性度（%） | 0.01 | 0.01 |0.1 |
| 电容量（µF） | 4.8 | 4.8| 1.6 |
| 集成传感器 | 纳米精度电容位移传感器 |
| 电缆长度（m） | 2 |
| 控制器 | LC.403 |
| 材质 | 铝合金 |
尺寸图
