nPCube
nPCube Nanopositioning Piezo Stage
nPCube是一款超小尺寸三维纳米定位台，行程100μm×100μm×100μm，而尺寸仅为40mmx40mmx47mm。适用于光电对准、光电封装、纳米加工、光学测量、纳米自动化等应用。
应用
- 光电对准
- 光电封装
- 纳米加工
- 光学测量
- 纳米自动化
主要参数
| 型号 | 3715464 |
| 尺寸(mm) | 40 x 40 x 47 |
| 最大负载(kg) | 1.5 |
| 最大推力(N) | 15 |
| 自重(g) | 160 |
| 运动轴 | X|Y|Z |
| 闭环行程(µm) | 100|100|100 |
| 开环行程(µm) | 140|140|140 |
| 噪声值(nm) | 3|3|3 |
| 3715464 | |
| 刚度（N/µm） | 0.6 | 0.6 | 0.6 |
| 共振频率（Hz） | 280 | 430 | 280 |
| 稳态时间（ms） | 20 | 20 | 20 |
| 线性度（%） | 0.05 | 0.05 | 0.05 |
| 电容量（µF） | 1.5 | 1.5 | 1.5 |
| 集成传感器 | 应变式微位移传感器 |
| 电缆长度（m） | 2 |
| 控制器 | LC.403 |
| 材质 | 不锈钢 & 铝合金 |
尺寸图
