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nPCube

nPCube Nanopositioning Piezo Stage

nPCube是一款超小尺寸三维纳米定位台,行程100μm×100μm×100μm,而尺寸仅为40mmx40mmx47mm。适用于光电对准、光电封装、纳米加工、光学测量、纳米自动化等应用。

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应用

  • 光电对准
  • 光电封装
  • 纳米加工
  • 光学测量
  • 纳米自动化

主要参数

型号3715464
尺寸(mm)40 x 40 x 47
最大负载(kg)1.5
最大推力(N)15
自重(g)160
运动轴X|Y|Z
闭环行程(µm)100|100|100
开环行程(µm)140|140|140
噪声值(nm)3|3|3
3715464
刚度(N/µm)0.6 | 0.6 | 0.6
共振频率(Hz)280 | 430 | 280
稳态时间(ms)20 | 20 | 20
线性度(%)0.05 | 0.05 | 0.05
电容量(µF)1.5 | 1.5 | 1.5
集成传感器应变式微位移传感器
电缆长度(m)2
控制器LC.403
材质不锈钢 & 铝合金

尺寸图

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