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ZONDA六轴并联定位台

Very stable hexapod with high precision

  • 激光位移传感器 平移台 三轴龙门 纳米定位台 六轴定位台 主页
  • 超高稳定性
  • 分辨率0.1μm
  • 负载达500kg
  • 真空兼容
  • 超大行程
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主要参数

ZONDA
运动及定位
行程Tx,Ty(mm)±200
行程Tz(mm)±150
行程Rx,Ry(deg)±20
行程Rz(deg)±20
分辨率Tx,Ty,Tz(μm)0.1
分辨率Rx,Ry,Rz(μrad)0.5
重复精度Tx,Ty,Tz(μm)±0.25
重复精度Rx,Ry,Rz(μrad)±1
速度(mm/s;deg/s)0.6; 0.04
机械特性
刚度X,Y(N/μm)8.5
刚度Z(N/μm)30
负载(kg)(垂直方向/水平方向)400 / 140
电机类型步进电机
传感器类型绝对光栅尺
ZONDA
其它特性
工作温度(℃)0~+75
材料铝,不锈钢,铟钢,聚醚醚酮
运动台面(mm)Φ720
中间位置高度(mm)640
质量(kg)96
线长(m)<5
可选项洁净间兼容;真空兼容;用户可以定制平台面
控制器
控制类型ALPHA
接口Ethernet,USB
输出功率110-240 VAC/ 50-60Hz

尺寸图

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