NPXY80Z5-272
NPXY80Z5-272 Nanopositioning Piezo Stage
应用
- 光学测量
- 纳米加工
- AFM
- 光存储/磁存储
- 材料科学
主要参数
型号 | 3715272 |
尺寸(mm) | 37x 37x 48.3 |
最大负载(kg) | 0.5 |
最大推力(N) | 100 / 10 |
自重(g) | 290 |
运动轴 | X|Y|Z |
闭环行程(µm) | 80|80|5 |
开环行程(µm) | 125|125|10 |
噪声值(nm) | 0.3|0.3|0.07 |
3715264 | |
刚度(N/µm) | 0.6|0.5|7.1 |
共振频率(Hz) | 400|450|2000 |
稳态时间(ms) | 10|10|30 |
线性度(%) | 0.01|0.01|0.5 |
电容量(µF) | 1.5|1.5|2.4 |
集成传感器 | 纳米精度电容位移传感器 |
电缆长度(m) | 2 |
控制器 | LC.403 |
材质 | 不锈钢 |