NPXY200-401
NPXY200-401 Nanopositioning Piezo Stage
NPXY200-401是一款重载大行程XY扫描台,最大承载5kg,行程200μm×200μm,通孔尺寸68mm×68mm,而厚度仅为17mm。适用于纳米加工、纳米压印、光学测量、存储科学、材料科学等应用。
应用
- 纳米加工
- 纳米计量
- 纳米压印
- 光存储/磁存储
- 材料科学
主要参数
型号 | 3715401 |
尺寸(mm) | 140 x 140 x 17 |
最大负载(kg) | 5 |
最大推力(N) | 100 / 20 |
自重(g) | 570 |
运动轴 | X|Y |
闭环行程(µm) | 200|200 |
开环行程(µm) | 250|250 |
噪声值(nm) | 0.7|0.7 |
通孔(mm) | 68 x 68 |
3715401 | |
刚度(N/µ) | 2.1|2.1 |
共振频率(Hz) | 700|700 |
稳态时间(ms) | 8|8 |
线性度(%) | 0.01|0.01 |
电容量(µF) | 7.5|7.5 |
集成传感器 | 纳米精度电容位移传感器 |
电缆长度(m) | 2 |
控制器 | LC.402 |
材质 | 铝合金 |