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Motionsmart 动智精密
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ECS3050/NUM纳米级精度陶瓷电机水平运动台

 open loop & closed loop

  • 5E-11mbar真空度
  • 30mm行程
  • 15公斤负载
  • 0~100℃工作温度
data文件下载
  • 主要参数
  • 尺寸图
型号ECS3050/NUM
尺寸
长宽;高30×50;9.5mm
最大尺寸30×81.6;9.5mm
自重(铝/不锈钢)49/90g
材料
运动平台主体铝/不锈钢
驱动源压电陶瓷
轴承不锈钢
连接线缆导电双绞线,铜
选项
可兼容环境/RT,/HV,/UHV
材料/AL,/StSt
编码方式/NUM
重载可选/HL,/RT
兼容电子模块
开环/闭环控制器ECC100
粗调位置模式
行程(步长模式)30mm
最小步长典型值0.05μm
最大驱动速度(@300K,无负载)4.5mm/s
微调位置模式
微调行程0~1.6μm
微调定位精度亚纳米
运动精度(开环)
步长模式重复精度典型值为全行程下5%
双向步长不对称性0.1
运动精度(闭环)
分辨率1nm
重复精度50nm
负载@常规环境(安装方向:水平轴向)
最大垂直负载150N(18kg)
轴向最大动态力1N(HL:5N)
ECS30501
ECS30502

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动智精密设备科技(上海)有限公司

沪ICP备16016512号