ECS3050/NUM
纳米级精度陶瓷电机水平运动台
open loop & closed loop
![](https://www.motionsmart.cn/wp-content/uploads/2018/04/ECS3050_Hauptbild.png)
主要参数
型号 | ECS3050/NUM |
尺寸 | |
长宽;高 | 30×50;9.5mm |
最大尺寸 | 30×81.6;9.5mm |
自重(铝/不锈钢) | 49/90g |
材料 | |
运动平台主体 | 铝/不锈钢 |
驱动源 | 压电陶瓷 |
轴承 | 不锈钢 |
连接线缆 | 导电双绞线,铜 |
选项 | |
可兼容环境 | /RT,/HV,/UHV |
材料 | /AL,/StSt |
编码方式 | /NUM |
重载可选 | /HL,/RT |
兼容电子模块 | |
开环/闭环控制器 | ECC100 |
ECS3050/NUM | |
粗调位置模式 | |
行程(步长模式) | 30mm |
最小步长典型值 | 0.05μm |
最大驱动速度(@300K,无负载) | 4.5mm/s |
微调位置模式 | |
微调行程 | 0~1.6μm |
微调定位精度 | 亚纳米 |
运动精度(开环) | |
步长模式重复精度 | 典型值为全行程下5% |
双向步长不对称性 | 0.1 |
运动精度(闭环) | |
分辨率 | 1nm |
重复精度 | 50nm |
负载@常规环境(安装方向:水平轴向) | |
最大垂直负载 | 150N(18kg) |
轴向最大动态力 | 1N(HL:5N) |
尺寸图
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![](https://www.motionsmart.cn/wp-content/uploads/2018/04/ECS30502.jpg)